XLS, Alto Vacío válvula de ángulo, tipo electromagnético, Bellows Equilibrio

serie válvula de ángulo alto vacío XL proporciona excelentes resultados de conductividad térmica en una temperatura uniforme para todo el cuerpo de la válvula y una disminución marcada en la condensación de los gases dentro de la válvula. La válvula no contiene metales pesados como el Ni (níquel) o Cr (cromo) y un bajo rendimiento de pulverización catódica también ayuda a minimizar la contaminación de metales pesados de obleas de semiconductores.

• Las partículas se reducen debido a que no hay piezas de metal deslizantes
• El mecanismo de balance de presión permite la liberación en la dirección de escape
• Se puede usar con un equipo portátil ya que el aire no es necesario para el n
• Se ha incorporado en el modelo estándar un circuito de alimentación de control para el accionamiento de la electroválvula