serie válvula de ángulo alto vacío XL proporciona excelentes resultados de conductividad térmica en una temperatura uniforme para todo el cuerpo de la válvula y una disminución marcada en la condensación de los gases dentro de la válvula. La válvula no contiene metales pesados ​​como el Ni (níquel) o Cr (cromo) y un bajo rendimiento de pulverización catódica también ayuda a minimizar la contaminación de metales pesados ​​de obleas de semiconductores.

XM Series (válvula de ángulo alto vacío) y XY (alto vacío válvula en línea) materiales de cuerpo característica de SUS (acero inoxidable). La estructura de la XM es la misma que la XL, excepto el material del cuerpo de la XL es de aluminio. La serie XM es intercambiable con la serie XL. El reparto de precisión, un proceso de fabricación de pieza de la serie XY evita las imperfecciones debidas a la acumulación de gas y asegura que no haya porosidad en el cuerpo.