XLC, válvula de ángulo de aluminio de alto vacío, doble efecto, sello de los fuelles

XLC es una válvula de ángulo alto vacío de doble efecto con una junta de fuelle para el eje. La familia comparte XL * Las características comunes con todos los miembros de la serie. Cuerpos están hechos de aluminio para la conductividad térmica de peso ligero y excelente, lo que resulta en una temperatura uniforme para todo el cuerpo de la válvula. El cuerpo ofrece una excelente resistencia a la corrosión de flúor. Un bajo rendimiento de pulverización catódica y la ausencia de metales pesados evitar la contaminación de la oblea.

• Doble efecto, Junta de fuelle.
• Cuerpo de aluminio.
• Temp. de calentamiento uniforme.
• Mínima desgasificación.
• Alta resistencia a la corrosión por gas fluor.
• Peso ligero, tamaño compacto.
• Mínima contaminación por metales pesados.