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AZ3542 & AZ4542, Diaphragm Valve, Air Operated

product_img

Series AZ is an ultra high purity (UHP)diaphragm valve for gas delivery in semiconductor and other clean industries.  This series is available in air operated.

  • Cleaned for high purity semiconductor applications
  • Cleanroom assembled and Helium leaked tested
  • Valve meets dimensional requirements of SEMI F36-0299, Option 1
  • User-friendly forged body
  • M5 actuation port
  • Compact and lightweight
Configuration Options
  
 
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  • Red conflict with another selected option value.
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Options in:
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